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Optics express, 2023-10, Vol.31 (22), p.36061-36077
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2024-07, Vol.42 (4)
2024
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Optics express, 2023-01, Vol.31 (1), p.192-210
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Journal of microelectronic manufacturing, 2021-06, Vol.4 (2), p.1-7
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Optics express, 2022-09, Vol.30 (19), p.33869-33885
2022
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2024 2nd International Symposium of Electronics Design Automation (ISEDA), 2024, p.574-578
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2023 International Workshop on Advanced Patterning Solutions (IWAPS), 2023, p.1-5
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2022 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC), 2022, p.1-3
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