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Journal of microelectromechanical systems, 2023-12, Vol.32 (6), p.562-573
2023
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Journal of microelectromechanical systems, 2023-02, Vol.32 (1), p.37-46
2023
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Journal of micromechanics and microengineering, 2014-01, Vol.24 (1), p.15008-15
2014
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Sensors and actuators. A. Physical., 2011-12, Vol.172 (1), p.47-53
2011
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2020 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL), 2020, p.1-4
2020
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2020 IEEE 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2020, p.873-876
2020
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IEEE sensors journal, 2011-08, Vol.11 (8), p.1677-1683
2011
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Open Access
Pull-in MEMS Inclinometer
Procedia engineering, 2012, Vol.47, p.1239-1242
2012
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Procedia engineering, 2012, Vol.47, p.973-976
2012
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2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023, p.1579-1582
2023
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Open Access
Autonomous MEMS Inclinometer
Autonomous and Intelligent Systems, 2012, Vol.1, p.26-33
2012
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Procedia engineering, 2011, Vol.25, p.47-50
2011
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2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023, p.64-67
2023
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Procedia engineering, 2010, Vol.5, p.1075-1078
2010
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2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems & Eurosensors XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII), 2019, p.2045-2048
2019
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2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems & Eurosensors XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII), 2019, p.2539-2542
2019
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