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Journal of microelectromechanical systems, 2013-04, Vol.22 (2), p.303-308
2013
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2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013, p.1767-1770
2013
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