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2024
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IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control, 2023-10, Vol.70 (10), p.1-1
2023
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Journal of micromechanics and microengineering, 2018-05, Vol.28 (5), p.54006
2018
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The Journal of the Acoustical Society of America, 2019-02, Vol.145 (2), p.968-976
2019
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2022-06, Vol.28 (6), p.1379-1388
2022
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Sensors and actuators. A. Physical., 2007-02, Vol.133 (2), p.283-287
2007
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Plasma processes and polymers, 2019-09, Vol.16 (9), p.n/a
2019
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Journal of materials engineering and performance, 2021, Vol.30 (10), p.7796-7804
2021
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Frontiers in bioengineering and biotechnology, 2022-07, Vol.10, p.868396-868396
2022
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Journal of micromechanics and microengineering, 2018-03, Vol.28 (5)
2018
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2016-03, Vol.22 (3), p.569-575
2016
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Journal of microelectromechanical systems, 2003-12, Vol.12 (6), p.972-978
2003
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Multi field modeling of a microelectromechanical speaker system with electrostatic driving principle
2014
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2013 Proceedings of the European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC), 2013, p.292-295
2013
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Procedia engineering, 2014, Vol.87, p.879-882
2014
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Journal of microelectromechanical systems, 2021-06, Vol.30 (3), p.360-368
2021
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IEEE sensors journal, 2003-12, Vol.3 (6), p.835-842
2003
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2022 IEEE Sensors, 2022, p.1-4
2022
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2020 IEEE 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2020, p.853-856
2020
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2002 IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest (Cat. No.02CH37278), 2002, Vol.3, p.1829-1832 vol.3
2002
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2017 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS), 2017, p.67-70
2017
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IEEE sensors journal, 2005-10, Vol.5 (5), p.857-863
2005
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2023 IEEE SENSORS, 2023, p.1-4
2023
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Applied physics letters, 1996-11, Vol.69 (20), p.3039-3041
1996
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2019 IEEE SENSORS, 2019, p.1-4
2019
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