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Microelectronic engineering, 2009-04, Vol.86 (4), p.779-782
2009
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2008-11, Vol.26 (6), p.2430-2433
2008
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2008-11, Vol.26 (6), p.2271-2275
2008
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