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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2012-01, Vol.30 (1), p.01A120-01A120-6
2012
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Jpn.J.Appl.Phys ,Part 2. Vol. 39, no. 2B, pp. L141-L142. 2000, 2000, Vol.39 (2B), p.L141-L142
2000
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Japanese Journal of Applied Physics, 2000-02, Vol.39 (2B), p.L141
2000
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13th Annual IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference. Advancing the Science and Technology of Semiconductor Manufacturing. ASMC 2002 (Cat. No.02CH37259), 2002, p.1-5
2002
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Meeting abstracts (Electrochemical Society), 2007-09, Vol.MA2007-02 (20), p.1114-1114
2007
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Meeting abstracts (Electrochemical Society), 2006-06, Vol.MA2006-02 (22), p.1127-1127
2006
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