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Monocular Vision-Based Underwater Object Detection
Sensors (Basel, Switzerland), 2017-08, Vol.17 (8), p.1784
2017
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Modal wavefront reconstruction based on Zernike polynomials for lateral shearing interferometry: comparisons of existing algorithms
Applied optics (2004), 2012-07, Vol.51 (21), p.5028
2012
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Underwater Object Segmentation Based on Optical Features
Sensors (Basel, Switzerland), 2018-01, Vol.18 (1), p.196
2018
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Analysis of lateral shearing interferometry without self-imaging limitations
Applied Optics, 2015-09, Vol.54 (27), p.8070
2015
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Generalized zonal wavefront reconstruction for high spatial resolution in lateral shearing interferometry
Journal of the Optical Society of America. A, Optics, image science, and vision, 2012-09, Vol.29 (9), p.2038
2012
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Piston error calibration of zonal reconstruction for a segmented wavefront in lateral shearing interferometry
Applied Optics, 2015-05, Vol.54 (13), p.4180
2015
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Calibration Method for Alignment Error Caused by Asymmetric Deformation of Mark and Its Application in Overlay Measurement
Zhōngguó jīguāng, 2019-01, Vol.46 (7), p.704004
2019
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Polarization Aberration Measurement Method Based on Principal Component Analysis of Differential Aerial Images
Guangxué xuébào, 2019-07, Vol.39 (7), p.712006
2019
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Simplified Analytical Method for Error Sources in Mueller Matrix Imaging Polarimeter
Guangxué xuébào, 2019-09, Vol.39 (9), p.911002
2019
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Alignment Technique Using Moire Fringes Based on Self-Coherence in Lithographic Tools
Zhōngguó jīguāng, 2017-12, Vol.44 (12), p.1204006
2017
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Alignment mark optimization for improving signal-to-noise ratio of wafer alignment signal
Applied optics (2004), 2019-01, Vol.58 (1), p.9
2019
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System Errors Analysis of Grating Lateral Shearing Interferometer
Zhōngguó jīguāng, 2014-05, Vol.41 (5), p.508006
2014
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Phase Retrieval Errors Analysis of Interferogram Using Two Dimensional Fast Fourier Transform Method
Zhōngguó jīguāng, 2013-03, Vol.40 (3), p.308002
2013
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Calibration method of overlay measurement error caused by asymmetric mark
Applied optics (2004), 2018-11, Vol.57 (33), p.9814
2018
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Depth-dependent dispersion compensation for full-depth OCT image
Optics express, 2017-05, Vol.25 (9), p.10345-10354
2017
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Sub-pixel position estimation algorithm based on Gaussian fitting and sampling theorem interpolation for wafer alignment
Applied optics (2004), 2021-11, Vol.60 (31), p.9607
2021
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Zernike polynomials as a basis for modal fitting in lateral shearing interferometry: a discrete domain matrix transformation method
Applied Optics, 2016-08, Vol.55 (22), p.5884
2016
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Exact two-dimensional zonal wavefront reconstruction with high spatial resolution in lateral shearing interferometry
Optics communications, 2016-05, Vol.367, p.264-273
2016
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Measurement algorithm for wafer alignment based on principal component analysis
Applied optics (2004), 2021-07, Vol.60 (19), p.5569
2021
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Modal wavefront reconstruction based on Zernike polynomials for lateral shearing interferometry
Applied Optics, 2017-01, Vol.56 (1), p.61
2017
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Orthonormal polynomials for annular pupil including a cross-shaped obstruction
Applied optics (2004), 2015-04, Vol.54 (10), p.2922
2015
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Use of numerical orthogonal transformation for the Zernike analysis of lateral shearing interferograms
Optics express, 2012-01, Vol.20 (2), p.1530-1544
2012
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High-order wavefront aberration measurement method for hyper-NA lithographic projection lens based on a binary target and rotated regression matrix
Optics communications, 2019-01, Vol.431, p.158-166
2019
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Wavefront reconstruction for lateral shearing interferometry based on difference polynomial fitting
Journal of Optics, 2015-06, Vol.17 (6), p.65401-7
2015
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Method for improving measurement efficiency of lateral shearing interferometry
Optical engineering, 2017-02, Vol.56 (2), p.24107
2017
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