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IEEE transactions on plasma science, 2014-10, Vol.42 (10), p.2822-2823
2014
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Journal of physics. D, Applied physics, 2014-07, Vol.47 (30), p.303001-27
2014
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2013-11, Vol.31 (6), p.61209
2013
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Journal of applied physics, 2012-06, Vol.111 (12)
2012
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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2012-03, Vol.30 (2), p.021306-021306-10
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Plasma sources science & technology, 2011-10, Vol.20 (5), p.55001-1-9
2011
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