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Sensors and actuators. A. Physical., 2010-04, Vol.159 (1), p.41-50
2010
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Journal of microelectromechanical systems, 2012-02, Vol.21 (1), p.198-205
2012










MRS proceedings, 2008, Vol.1139 (1), Article 1139-GG03-01
2008
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2013 IEEE 26th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2013, p.449-452
2013

2012 IEEE 25th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2012, p.1245-1248
2012
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