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Journal of micromechanics and microengineering, 2013-05, Vol.23 (5), p.55022-7
2013
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Sensors and actuators. A. Physical., 2011-06, Vol.167 (2), p.594-601
2011
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Sensors and actuators. A. Physical., 2014-02, Vol.208, p.66-72
2014
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IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control, 2012-11, Vol.59 (11), p.2584-2587
2012
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Sensors and actuators. B, Chemical, 2008-01, Vol.128 (2), p.422-426
2008
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2009 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2009, p.47-48
2009
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2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2011, p.712-715
2011
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