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Sensors and actuators. A. Physical., 2017-08, Vol.263, p.216-223
2017
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Journal of microelectronics and electronic packaging, 2020-04, Vol.17 (2), p.59-66
2020
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2015 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2015, p.284-287
2015
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2017 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS), 2017, p.786-789
2017
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