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Polymer international, 2004-03, Vol.53 (3), p.320-325
2004
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2003 8th International Symposium Plasma- and Process-Induced Damage, 2003, p.73-76
2003
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2000 Semiconductor Manufacturing Technology Workshop (Cat. No.00EX406), 2000, p.133-139
2000
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2000 5th International Symposium on Plasma Process-Induced Damage (IEEE Cat. No.00TH8479), 2000, p.54-56
2000
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