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2023 34th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2023, p.1-4
2023
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IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2024-08, Vol.37 (3), p.238-243
2024
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2019 30th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2019, p.1-4
2019
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Physical review fluids, 2017-11, Vol.2 (11), Article 114604
2017
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