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Applied surface science, 2003-04, Vol.211 (1), p.270-279
2003
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Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 2006-01, Vol.242 (1-2), p.690-692
2006
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2015 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD), 2015, p.417-420
2015
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Proceeding of the Bulgarian Academy of Sciences, 2013, Vol.66 (4)
2013
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Plasma processes and polymers, 2006-02, Vol.3 (2), p.214-218
2006
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2024 Conference of Science and Technology for Integrated Circuits (CSTIC), 2024, p.1-3
2024
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MRS proceedings, 1997, Vol.490, Article 27
1997
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Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 2000-04, Vol.164-165, p.74-81
2000
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Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 2002-04, Vol.188 (1), p.189-195
2002
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Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 2000-04, Vol.164-165, p.979-985
2000
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Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 2000-04, Vol.164-165, p.979-985
2000
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Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 1996-05, Vol.112 (1), p.99-104
1996
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Ion Beam Processing of Materials and Deposition Processes of Protective Coatings, 1996, p.99-104
1996
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