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Micromachines (Basel), 2012-03, Vol.3 (1), p.10-20
2012
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Applied physics letters, 2009-05, Vol.94 (21), p.211904-211904-3
2009
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Sensors and actuators. A. Physical., 2013-01, Vol.189, p.100-107
2013
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Journal of applied physics, 2010-04, Vol.107 (9), p.09B505-09B505-3
2010
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2012 IEEE 25th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2012, p.1241-1244
2012
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2008 IEEE 21st International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2008, p.848-851
2008
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