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Plasma sources science & technology, 2007-08, Vol.16 (3), p.635-642
2007
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Japanese Journal of Applied Physics, 2005-07, Vol.44 (7S), p.5795
2005
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Solid-state electronics, 2020-10, Vol.172, p.107871, Article 107871
2020
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2006-11, Vol.24 (6), p.2748-2754
2006
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Physics of plasmas, 2005-01, Vol.12 (1), p.012323-012323-9
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2006 International SiGe Technology and Device Meeting, 2006, p.1-2
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Digest of Papers. 2004 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, 2004, 2004, p.50-51
2004
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Allergy (Copenhagen), 2021-10, Vol.76 (10), p.2952-2964
2021
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