Sie befinden Sich nicht im Netzwerk der Universität Paderborn. Der Zugriff auf elektronische Ressourcen ist gegebenenfalls nur via VPN oder Shibboleth (DFN-AAI) möglich. mehr Informationen...
Einfacher Volltextzugriff von (fast) überall
Installieren Sie die LibKey Nomad-Browsererweiterung und erhalten Sie von vielen Webseiten einfachen Zugriff auf lizenzierte Volltexte oder Open Access Publikationen. Mehr erfahren...


Journal of Photopolymer Science and Technology, 2013/06/25, Vol.26(5), pp.665-671
2013
Volltextzugriff (PDF)



Open Access
Bismuth Resists for EUV Lithography
Journal of Photopolymer Science and Technology, 2014/07/08, Vol.27(5), pp.655-661
2014
Volltextzugriff (PDF)

Journal of Photopolymer Science and Technology, 2012/06/26, Vol.25(5), pp.575-581
2012
Volltextzugriff (PDF)

Open Access
LER Limitations of Resist Thin Films
Journal of Photopolymer Science and Technology, 2012/06/26, Vol.25(5), pp.633-640
2012
Volltextzugriff (PDF)

Journal of Photopolymer Science and Technology, 2010/06/22, Vol.23(5), pp.665-671
2010
Volltextzugriff (PDF)

Frontiers of Nanoscience, 2016, Vol.11, p.377-420
2016
Volltextzugriff (PDF)



Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2018-12, Vol.17 (4), p.1
2018
Volltextzugriff (PDF)