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Microelectronic engineering, 2004-06, Vol.73, p.502-507
2004
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Microelectronic engineering, 2002-07, Vol.61, p.1025-1029
2002
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Microelectronic engineering, 2003-06, Vol.67, p.602-608
2003
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Precision engineering, 2002-10, Vol.26 (4), p.347-354
2002
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