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2024
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IEEE/ASME transactions on mechatronics, 2007-02, Vol.12 (1), p.23-31
2007
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2014
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2006
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2004
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Journal of microelectromechanical systems, 2014-12, Vol.23 (6), p.1252-1271
2014
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2017
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Microsystem technologies, 2008-07, Vol.14 (7), p.1027-1033
2008
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Journal of microelectromechanical systems, 2012-04, Vol.21 (2), p.370-378
2012
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Journal of microelectromechanical systems, 2012-04, Vol.21 (2), p.385-397
2012
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Journal of microelectromechanical systems, 2015-02, Vol.24 (1), p.249-249
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2018, Vol.24 (1), p.371-377
2018
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Physical chemistry chemical physics : PCCP, 2010-01, Vol.12 (26), p.723-721
2010
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Japanese Journal of Applied Physics, 2002-11, Vol.41 (Part 2, No. 11B), p.L1339-L1341
2002
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Journal of micromechanics and microengineering, 2011-12, Vol.21 (12), p.125005
2011
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Applied physics letters, 2012-02, Vol.100 (7), p.074103-074103-4
2012
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Microelectronic engineering, 2011, Vol.88 (5), p.844-847
2011
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Microelectronic engineering, 2011-05, Vol.88 (5), p.724-728
2011
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Design, Fabrication, and Operation of Two-Dimensional Conveyance System With Ciliary Actuator Arrays
2009
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IEEE electron device letters, 2008-05, Vol.29 (5), p.494-496
2008
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Journal of micromechanics and microengineering, 2006-04, Vol.16 (4), p.794-801
2006
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Journal of micromechanics and microengineering, 2009-11, Vol.19 (11), p.115009-115009 (7)
2009
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Japanese Journal of Applied Physics, 1997-06, Vol.36 (6B), p.L794-L797
1997
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