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Lithographic stochastics: beyond 3σ
Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2017-04, Vol.16 (2), p.23505
2017
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2017-07, Vol.16 (3), p.1
2017
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The Hole Shrink Problem
Journal of photopolymer science and technology, 2013-01, Vol.26 (1), p.15
2013
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Journal of contaminant hydrology, 1991, Vol.8 (3), p.225-241
1991
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2007-04, Vol.6 (2), p.23005
2007
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2008-11, Vol.26 (6), p.2484-2488
2008
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Cooperative wake vortex instabilities
2000
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2008-12, Vol.26 (6), p.2484-2488
2008
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