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Origin of the energetic ions at the substrate generated during high power pulsed magnetron sputtering of titanium
Journal of physics. D, Applied physics, 2014-06, Vol.47 (22), p.1-13
2014
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Investigation of plasma spokes in reactive high power impulse magnetron sputtering discharge
Journal of applied physics, 2017-05, Vol.121 (17)
2017
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Control of spoke movement in DCMS plasmas
Plasma sources science & technology, 2022-08, Vol.31 (8), p.85004
2022
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Dynamic of the growth flux at the substrate during high-power pulsed magnetron sputtering (HiPIMS) of titanium
Journal of physics. D, Applied physics, 2013-12, Vol.46 (48), p.485204-12
2013
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Influence of nitrogen admixture to argon on the ion energy distribution in reactive high power pulsed magnetron sputtering of chromium
Journal of physics. D, Applied physics, 2017-04, Vol.50 (13), p.135203
2017
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Study of the transition from self-organised to homogeneous plasma distribution in chromium HiPIMS discharge
Journal of physics. D, Applied physics, 2020-04, Vol.53 (15), p.155201
2020
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Influence of spokes on the ionized metal flux fraction in chromium high power impulse magnetron sputtering
Journal of physics. D, Applied physics, 2018-03, Vol.51 (11), p.115201
2018
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Link between plasma properties with morphological, structural and mechanical properties of thin Ti films deposited by high power impulse magnetron sputtering
Surface & coatings technology, 2021-07, Vol.418, p.127235, Article 127235
2021
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Fast charge exchange ions in high power impulse magnetron sputtering of titanium as probes for the electrical potential
Plasma sources science & technology, 2017-02, Vol.26 (3), p.35007, Article 35007
2017
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High power impulse sputtering of chromium: correlation between the energy distribution of chromium ions and spoke formation
Journal of physics. D, Applied physics, 2015-07, Vol.48 (29), p.295202-10
2015
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Calibration of a 3 MV li measuring system by comparison method and by numerical convolution using its measured step response
11th International Symposium on High-Voltage Engineering (ISH 99), 1999
1999
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Calibration of A3 MV LI measuring system by comparison method and by numerical convolution using its measured step response
IEE conference publication, 1999, p.1.230.P4-1.233.P4
1999
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