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2011
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Applied surface science, 2005-09, Vol.252 (1), p.185-188
2005
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Surface & coatings technology, 2005-12, Vol.200 (7), p.2253-2259
2005
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Applied physics letters, 2007-04, Vol.90 (17)
2007
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Thin solid films, 2017-12, Vol.643, p.24-30
2017
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2013 IEEE Nuclear Science Symposium and Medical Imaging Conference (2013 NSS/MIC), 2013, p.1-3
2013
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Microelectronic engineering, 2013-09, Vol.109, p.381-384
2013
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Microelectronic engineering, 2013-09, Vol.109, p.381-384
2013
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Microelectronic engineering, 2013, Vol.109, p.381-384
2013
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Microelectronic engineering, 2011-07, Vol.88 (7), p.1346-1348
2011
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Nuclear instruments & methods in physics research. Section A, Accelerators, spectrometers, detectors and associated equipment, 1998-12, Vol.419 (1), p.137-145
1998
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Applied physics letters, 2007-04, Vol.90 (17), p.174106-174106-3
2007
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Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 2000-07, Vol.168 (3), p.367-374
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Applied physics letters, 2007-04, Vol.90 (17)
- Hoeglund, C.
- Beckers, M.
- Schell, N.
- Borany, J. v.
- Birch, J.
- Hultman, L.
- GKSS Research Center Geesthacht, Max-Planck-Str. 1, D-21502 Geesthacht
- Institute of Ion Beam Physics and Materials Research, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf, P.O. Box 510119, D-01314 Dresden
- Thin Film Physics Division, Department of Physics, Chemistry and Biology
2007
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Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 2000, Vol.168 (3), p.367-374
2000
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Microelectronics and reliability, 2000-04, Vol.40 (4-5), p.867-871
2000
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Microelectronics and reliability, 2000-01, Vol.40 (4), p.867-871
2000
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2000 International Conference on Ion Implantation Technology Proceedings. Ion Implantation Technology - 2000 (Cat. No.00EX432), 2000, p.32-37
2000
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MRS bulletin, 2022-08, Vol.47 (8), p.773-782
2022
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Applied physics letters, 2015-01, Vol.106 (2)
2015
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Nanoscale research letters, 2017-03, Vol.12 (1), p.196-196, Article 196
2017
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Journal of applied physics, 2013-01, Vol.113 (4)
2013
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Journal of applied physics, 2007-05, Vol.101 (9)
2007
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Journal of applied physics, 2009-09, Vol.106 (6), p.064505-064505-11
2009
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Applied physics letters, 2015-01, Vol.106 (2)
2015
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