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Plasma chemistry and plasma processing, 2021, Vol.41 (1), p.433-445
2021
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Journal of applied physics, 2011-10, Vol.110 (7), p.073524-073524-14
2011
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Physica status solidi. A, Applications and materials science, 2018-02, Vol.215 (3), p.n/a
2018
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Materials chemistry and physics, 2022-12, Vol.292, p.126858, Article 126858
2022
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