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Open Access
Outlook for 157-nm Resist Designs
Journal of Photopolymer Science and Technology, 1999, Vol.12(4), pp.561-570
1999
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Applied surface science, 1994-05, Vol.79, p.12-24
1994
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Journal of fluorine chemistry, 2003-07, Vol.122 (1), p.3-10
2003
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[1991] Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1991, p.202-203
1991
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TRANSDUCERS '91: 1991 International Conference on Solid-State Sensors and Actuators. Digest of Technical Papers, 1991, p.507-511
1991
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Solid state technology, 2006-09, Vol.49 (9), p.41-43
2006
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