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Sensors and actuators. B, Chemical, 2002-02, Vol.82 (1), p.111-116
2002
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Journal of micromechanics and microengineering, 2018-01, Vol.28 (1), p.15002
2018
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Journal of microelectromechanical systems, 2001-03, Vol.10 (1), p.158-164
2001
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Proceedings IEEE Thirteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.00CH36308), 2000, p.199-204
2000
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Journal of applied physics, 2003-11, Vol.94 (10), p.6849-6854
2003
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