Sortiert nach
Einfacher Volltextzugriff von (fast) überall
Installieren Sie die LibKey Nomad-Browsererweiterung und erhalten Sie von vielen Webseiten einfachen Zugriff auf lizenzierte Volltexte oder Open Access Publikationen. Mehr erfahren...Nanophotonics (Berlin, Germany), 2020-04, Vol.9 (4), p.823-830
2020
Volltextzugriff (PDF)
Nanophotonics (Berlin, Germany), 2020-01, Vol.9 (1), p.149-157
2020
Volltextzugriff (PDF)
Optics express, 2018-07, Vol.26 (15), p.19548-19554
2018
Volltextzugriff (PDF)
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2005-07, Vol.23 (4), p.964-970
2005
Volltextzugriff (PDF)
Journal of micromechanics and microengineering, 2015-08, Vol.25 (8)
2015
Volltextzugriff (PDF)
Optics express, 2019-09, Vol.27 (18), p.26060-26069
2019
Volltextzugriff (PDF)
Journal of microelectromechanical systems, 2017-12, Vol.26 (6), p.1400-1407
2017
Volltextzugriff (PDF)
IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2007-05, Vol.20 (2), p.143-149
2007
Volltextzugriff (PDF)
Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2006-11, Vol.24 (6), p.2689-2694
2006
Volltextzugriff (PDF)
Journal of microelectromechanical systems, 2017-12, Vol.26 (6), p.1400-1407
2017
Volltextzugriff (PDF)
Journal of micromechanics and microengineering, 2015-08, Vol.25 (8), p.1-8
2015
Volltextzugriff (PDF)
Journal of micromechanics and microengineering, 2015-08, Vol.25 (8), p.87002
2015
Volltextzugriff (PDF)
Journal of micromechanics and microengineering, 2011-06, Vol.21 (6), p.067003
2011
Volltextzugriff (PDF)
Journal of the Electrochemical Society, 2002-01, Vol.149 (12), p.G656
2002
Volltextzugriff (PDF)
Applied physics letters, 2005-02, Vol.86 (9), p.093102-093102-3
2005
Volltextzugriff (PDF)
Journal of micromechanics and microengineering, 2013-11, Vol.23 (11), p.117001-6
2013
Volltextzugriff (PDF)
Thin solid films, 2006-05, Vol.504 (1), p.140-144
2006
Volltextzugriff (PDF)
2019 Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM), 2019, p.127-129
2019
Volltextzugriff (PDF)
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2005-06, Vol.23 (4), p.964-970
2005
Volltextzugriff (PDF)
Thin solid films, 2006-05, Vol.504 (1), p.117-120
2006
Volltextzugriff (PDF)
Thin solid films, 2004-09, Vol.462, p.235-239
2004
Volltextzugriff (PDF)
Japanese Journal of Applied Physics, 2003-05, Vol.42 (Part 1, No. 5A), p.2649-2653
2003
Volltextzugriff (PDF)
2020 Optical Fiber Communications Conference and Exhibition (OFC), 2020, p.1-3
2020
Volltextzugriff (PDF)
2020 Optical Fiber Communications Conference and Exhibition (OFC), 2020, p.1-3
2020
Volltextzugriff (PDF)
2019 IEEE 16th International Conference on Group IV Photonics (GFP), 2019, Vol.1949-209X, p.1-2
2019
Volltextzugriff (PDF)
Suchergebnisse filtern
Filter anzeigenNur zeigen
Publikationsform
Erscheinungsjahr
n.n
n.n
Thema
- Science & Technology
- Technology
- Physics
- Physical Sciences
- Physics, Applied
- Engineering
- Engineering, Electrical & Electronic
- Materials Science
- Exact Sciences And Technology
- Etching
- Nanoscience & Nanotechnology
- Science & Technology - Other Topics
- Materials Science, Multidisciplinary
- Optics
- Materials Science, Coatings & Films
- Physics, Condensed Matter
- Silicon
- Instruments & Instrumentation
- Lithography
- Aluminum Nitride
Kollektion
- IEEE/IET Electronic Library (IEL)
- Ingenta
- Elsevier ScienceDirect Journals Complete
- AIP Journals
- Elsevier Journal Backfiles on ScienceDirect (DFG Nationallizenzen)
- EZB Electronic Journals Library
- NUS Single-Journal Subscriptions
- IngentaConnect Journals
- De Gruyter journals
- De Gruyter Open Access Books
- OSA_美国光学学会数据库1
- Springer journals
Zeitschrift / Serie
- Journal Of Micromechanics And Microengineering
- Journal Of Vacuum Science & Technology. B, Microelectronics And Nanometer Structures Processing, Measurement And Phenomena
- Thin Solid Films
- Journal Of Microelectromechanical Systems
- Journal Of Vacuum Science & Technology. A, Vacuum, Surfaces, And Films
- Nanophotonics
- Optics Express
- Applied Physics Letters
- Ieee Transactions On Semiconductor Manufacturing
- Japanese Journal Of Applied Physics