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AIP conference proceedings, 2006, Vol.875 (1), p.176-179
2006
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Journal of electronic materials, 2011-11, Vol.40 (11), p.2187-2196
2011
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2010 10th IEEE International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology, 2010, p.926-928
2010
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2006-03, Vol.24 (2), p.823-827
2006
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2009 10th International Conference on Ultimate Integration of Silicon, 2009, p.181-184
2009
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2009 17th International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors, 2009, p.1-7
2009
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2007-07, Vol.25 (4), p.1166-1170
2007
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2006-03, Vol.24 (2), p.823-827
2006
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2006-03, Vol.24 (2), p.823-827
2006
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