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TRANSDUCERS '03. 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. Digest of Technical Papers (Cat. No.03TH8664), 2003, Vol.1, p.488-491 vol.1
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1997-05, Vol.15 (3), p.629-639
1997
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