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High energy P implants in silicon
Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 1992-01, Vol.62 (3), p.331-337
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Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 1994-03, Vol.85 (1-4), p.159-166
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Semiconductor science and technology, 1993-03, Vol.8 (3), p.327-332, Article 327
1993
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