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ALD grown NbTaOx based MIM capacitors
Microelectronic engineering, 2011-08, Vol.88 (8), p.2447-2451
2011
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Journal of the Electrochemical Society, 2011, Vol.158 (5), p.G119
2011
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ALD grown NbTaO based MIM capacitors
Microelectronic engineering, 2011-08, Vol.88 (8), p.2447-2451
2011
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2019 49th European Microwave Conference (EuMC), 2019, p.168-171
2019
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2017 IEEE Bipolar/BiCMOS Circuits and Technology Meeting (BCTM), 2017, p.62-65
2017
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