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25th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC 2014), 2014, p.423-427
2014
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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2006-01, Vol.24 (1), p.114-125
2006
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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2006-01, Vol.24 (1), p.114-125
2006
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Physics of plasmas, 1998-05, Vol.5 (5), p.1328-1335
1998
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Physics of plasmas, 1998-05, Vol.5 (5), p.1328-1335
1998
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Comparative Biochemistry and Physiology Part B: Biochemistry and Molecular Biology, 2017-01, Vol.203, p.141-148
2017
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