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2005
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Proceedings IEEE Thirteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.00CH36308), 2000, p.142-147
2000
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Sensors and actuators. A, Physical, 2001-03, Vol.89 (1), p.49-55
2001
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Japanese Journal of Applied Physics, 2002-11, Vol.41 (Part 1, No. 11B), p.7153-7157
2002
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Japanese Journal of Applied Physics, Part 1, 2002-11, Vol.41 (11B), p.7153-7157
2002
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2007 IEEE 20th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2007, p.231-234
2007
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Journal of micromechanics and microengineering, 2005-11, Vol.15 (11), p.2098-2104
2005
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The 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2005. Digest of Technical Papers. TRANSDUCERS '05, 2005, Vol.1, p.992-995 Vol. 1
2005
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19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2006, p.32-35
2006
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Journal of semiconductor technology and science, 2002, Vol.2 (4), p.302-302
2002
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IEEE journal of selected topics in quantum electronics, 2004-05, Vol.10 (3), p.545
2004
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IEEE journal of selected topics in quantum electronics, 2004-05, Vol.10 (3), p.545-550
2004
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IEEE journal of selected topics in quantum electronics, 2004-01, Vol.10 (3)
2004
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IEEE photonics technology letters, 2018-12, Vol.30 (23), p.2072-2075
2018
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IEEE journal of selected topics in quantum electronics, 2004-05, Vol.10 (3), p.545-550
2004
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Optics express, 2015-06, Vol.23 (13), p.16792-16802
2015
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Optics express, 2016-07, Vol.24 (14), p.15813-15821
2016
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Journal of microelectromechanical systems, 2007-08, Vol.16 (4), p.989-996
2007
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IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMs, 2002, p.49-50
2002
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2003 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS (Cat. No.03EX682), 2003, p.143-144
2003
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IEEE journal of selected topics in quantum electronics, 2004-05, Vol.10 (3), p.558-562
2004
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Journal of micromechanics and microengineering, 2006-05, Vol.16 (5), p.1033-1039
2006
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Metals and materials international, 1998-08, Vol.4 (4), p.827
1998
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Metals and materials (Seoul, Korea), 1998-01, Vol.4 (4), p.827-831
1998
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Integrated ferroelectrics, 2001-02, Vol.35 (1-4), p.185-197
2001
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