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Electronic materials letters, 2024, Vol.20 (6), p.733-744
2024
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Journal of applied physics, 1999-09, Vol.86 (6), p.3347-3351
1999
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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 1998-07, Vol.16 (4), p.2448-2453
1998
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Journal of materials science, 1999-12, Vol.34 (24), p.6115-6119
1999
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2001-01, Vol.19 (1), p.281-285
2001
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2000-07, Vol.18 (4), p.1923-1928
2000
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2000-07, Vol.18 (4), p.1923-1928
2000
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2001-01, Vol.19 (1), p.281-285
2001
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