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Journal of microelectromechanical systems, 2015-12, Vol.24 (6), p.1973-1980
2015









2018 IEEE 68th Electronic Components and Technology Conference (ECTC), 2018, p.2205-2210
2018


2016 IEEE 11th Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS), 2016, p.427-432
2016
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2019 20th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE), 2019, p.1-7
2019
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2015 16th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems, 2015, p.1-8
2015
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3D integration technologies for MEMS
2016 13th IEEE International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology (ICSICT), 2016, p.334-337
2016
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