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2012
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Applied surface science, 2014-10, Vol.315, p.523-526
2014
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Applied surface science, 2007-05, Vol.253 (15), p.6608-6611
2007
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SILICON, 2015-07, Vol.7 (3), p.283-291
2015
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Thin solid films, 2010-06, Vol.518 (16), p.4520-4524
2010
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Microelectronics and reliability, 2011-12, Vol.51 (12), p.2119-2123
2011
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World journal of engineering, 2014-06, Vol.11 (3), p.233-238
2014
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Journal of chemistry and chemical engineering, 2012-11, Vol.6 (11), p.979-983
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Microelectronics, 2006-09, Vol.37 (9), p.910-915
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Microelectronics and reliability, 2003-03, Vol.43 (3), p.509-512
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Microelectronics and reliability, 2011-12, Vol.51 (12), p.2119-2123
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Thin solid films, 1997-05, Vol.300 (1), p.72-77
1997
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Microscopy and microanalysis, 2006-08, Vol.12 (S02), p.666-667
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Microelectronics and reliability, 2001-06, Vol.41 (6), p.871-879
2001
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Microelectronics and reliability, 2011, Vol.51 (12), p.2119-2123
2011
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Plasma devices and operations, 2003-12, Vol.11 (4), p.287-296
2003
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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 1998-07, Vol.16 (4), p.2614-2618
1998
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Plasma devices and operations, 2002, Vol.10 (4), p.251-261
2002
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Thin solid films, 1996-09, Vol.283 (1-2), p.235-238
1996
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2010 27th International Conference on Microelectronics Proceedings, 2010, p.141-144
2010
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Microelectronics, 2003-04, Vol.34 (4), p.255-258
2003
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Microelectronics and reliability, 2001, Vol.41 (1), p.67-72
2001
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Microelectronics and reliability, 1999, Vol.39 (10), p.1497-1504
1999
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Vacuum, 1996-09, Vol.47 (9), p.1081-1083
1996
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Microelectronics, 2002-08, Vol.33 (8), p.651-657
2002
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