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Journal of materials science. Materials in electronics, 2020-04, Vol.31 (8), p.5827-5832
2020
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Heliyon, 2023-12, Vol.9 (12), p.e22792-e22792, Article e22792
2023
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Journal of physics. Conference series, 2016-11, Vol.773 (1), p.12079
2016
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Ceramics international, 2020-09, Vol.46 (13), p.21388-21394
2020
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Towards tilt-free in plasma etching
Journal of micromechanics and microengineering, 2021-11, Vol.31 (11), p.115007
2021
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Journal of semiconductors, 2010-10, Vol.31 (10), p.62-67
2010
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RSC advances, 2020-01, Vol.1 (4), p.2191-2197
2020
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