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2017 IEEE 30th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2017, p.1162-1165
2017
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2017 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS), 2017, p.587-590
2017
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2016 IEEE 29th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2016, p.761-764
2016
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