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Journal of microelectromechanical systems, 2011-12, Vol.20 (6), p.1462-1472
2011
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2009 IEEE 22nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2009, p.1003-1006
2009
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2010 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2010, p.87-88
2010
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2007 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2007, p.8-9
2007
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2008 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMs and Nanophotonics, 2008, p.44-45
2008
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TRANSDUCERS 2007 - 2007 International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2007, p.2557-2560
2007
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