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Microelectronic engineering, 1992-03, Vol.17 (1), p.229-240
1992
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1993-03, Vol.11 (2), p.487-492
1993
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Projection ion beam lithography
Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1993-11, Vol.11 (6), p.2409-2415
1993
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Open Access
The European Spallation Source
Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 2011-12, Vol.269 (24), p.3258-3260
2011
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