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Water science & technology. Water supply, 2022-03, Vol.22 (3), p.3271-3282
2022
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2014-01, Vol.32 (1)
2014
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Microelectronic engineering, 2019-01, Vol.205, p.32-36
2019
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