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目直し条件がメカノケミカル砥石による単結晶シリコンの超仕上げ性能に及ぼす影響
砥粒加工学会誌, 2019/08/01, Vol.63(8), pp.415-420
2019
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光学ガラスの表面下損傷の可視化
砥粒加工学会誌, 2018/01/01, Vol.62(1), pp.33-38
2018
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セリアを含むメカノケミカル超砥粒砥石の超仕上特性
砥粒加工学会誌, 2009/08/01, Vol.53(8), pp.499-503
2009
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