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A simple fabrication process for disposable interdigitated electrode arrays with nanogaps for lab-on-a-chip applications
Microelectronic engineering, 2017-04, Vol.173, p.27-32
2017
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Optimized UV Nanoimprinting Processes for Fabrication of High Fidelity Patterns
2020 International Semiconductor Conference (CAS), 2020, p.129-132
2020
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III/V Wafer Bonding Technology for Wafer-Level Fabrication of GaInAsP/InP Microring Resonators
2006 International Semiconductor Conference, 2006, Vol.1, p.129-132
2006
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High throughput parallel micro and nano-scale replication - a low cost alternative for the fabrication of electronic-, optic- and microfluidic devices
2012 12th IEEE International Conference on Nanotechnology (IEEE-NANO), 2012, p.1-7
2012
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Low temperature packaging of BioMEMS and Lab-on-chip devices
2011 IEEE 13th Electronics Packaging Technology Conference, 2011, p.562-566
2011
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