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Journal of physics. D, Applied physics, 2013-11, Vol.46 (47), p.473001-27
2013
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Open Access
SEM analysis of ion implanted SiC
Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 2013-11, Vol.315, p.136-141
2013
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Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 2015-07, Vol.354, p.23-27
2015
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