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Micro and Nano Engineering, 2024-03, Vol.22, p.100233, Article 100233
2024
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Microsystems & nanoengineering, 2024, Vol.10 (1), p.52-52, Article 52
2024
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2024-03, Vol.42 (2)
2024
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2024-05, Vol.42 (3)
2024
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2020-01, Vol.38 (1)
2020
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2017-11, Vol.35 (6)
2017
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