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Physica status solidi. C, 2014-02, Vol.11 (2), p.249-252
2014
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2011-01, Vol.29 (1), p.1
2011
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ALD grown NbTaOx based MIM capacitors
Microelectronic engineering, 2011-08, Vol.88 (8), p.2447-2451
2011
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2011-01, Vol.29 (1)
2011
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2009-01, Vol.27 (1), p.286-289
2009
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2009-01, Vol.27 (1), p.305-309
2009
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2008 9th International Conference on Ultimate Integration of Silicon, 2008, p.159-162
2008
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