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International Journal of Precision Engineering and Manufacturing-Green Technology, 2021, 8(2), , pp.509-518
2021
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International Journal of Precision Engineering and Manufacturing-Green Technology, 2019, 6(5), , pp.919-930
2019
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2004-05, Vol.22 (3), p.1345-1348
2004
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