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Journal of microelectromechanical systems, 2024-04, p.1-7
2024
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Journal of microelectromechanical systems, 2023-08, Vol.32 (4), p.1-9
2023
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2023 IEEE 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2023, p.661-664
2023
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2023 IEEE 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2023, p.602-605
2023
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2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2021, p.1051-1054
2021
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Scientific reports, 2021-03, Vol.11 (1), p.4935-4935, Article 4935
2021
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Nano letters, 2020-07, Vol.20 (7), p.5465-5472
2020
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Green chemistry : an international journal and green chemistry resource : GC, 2023-02, Vol.25 (4), p.1356-1367
2023
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PeerJ (San Francisco, CA), 2023-04, Vol.11, p.e15209-e15209, Article e15209
2023
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Advanced science, 2023-07, Vol.10 (19), p.e2300880-n/a
2023
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ACS applied materials & interfaces, 2017-12, Vol.9 (49), p.42723-42733
2017
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