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Microelectronic engineering, 2015-07, Vol.142, p.7-11
2015
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Microelectronic engineering, 2019-08, Vol.216, p.111093, Article 111093
2019
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2004-09, Vol.22 (5), p.2526-2532
2004
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Microelectronic engineering, 2004-06, Vol.73, p.847-851
2004
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Microelectronic engineering, 2004-06, Vol.73-74, p.847-851
2004
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Microelectronic engineering, 2001-09, Vol.57, p.547-554
2001
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Microelectronic engineering, 1997-02, Vol.35 (1-4), p.141-144
1997
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Microelectronic engineering, 1996-01, Vol.30 (1-4), p.267-270
1996
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2002-11, Vol.20 (6), p.2902-2908
2002
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1996-09, Vol.14 (5), p.3332-3338
1996
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