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Materials, 2023-05, Vol.16 (10), p.3802
2023
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Surface and interface analysis, 1999-07, Vol.27 (7), p.629-637
1999
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Journal of micromechanics and microengineering, 2010-08, Vol.20 (8), p.085006-085006
2010
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Microelectronic engineering, 2010-03, Vol.87 (3), p.522-526
2010
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