Sie befinden Sich nicht im Netzwerk der Universität Paderborn. Der Zugriff auf elektronische Ressourcen ist gegebenenfalls nur via VPN oder Shibboleth (DFN-AAI) möglich. mehr Informationen...
Micro and Nano Engineering, 2024-03, Vol.22, p.100233, Article 100233
2024
Link zum Volltext


Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2024-03, Vol.42 (2)
2024
Link zum Volltext


Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2024-05, Vol.42 (3)
2024
Link zum Volltext

Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2020-01, Vol.38 (1)
2020
Link zum Volltext

IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2024-05, Vol.37 (2), p.160-165
2024

Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2017-11, Vol.35 (6)
2017
Link zum Volltext




Journal of materials chemistry. C, Materials for optical and electronic devices, 2020-01, Vol.8 (25), p.8374-8379
2020
Link zum Volltext


Materials letters, 2023-12, Vol.352, p.135185, Article 135185
2023
Link zum Volltext











Aktive Filter
ThemaPhysics, Applied
Suchergebnisse filtern
Filter anzeigen
Publikationsform
Sprache
Erscheinungsjahr
n.n
n.n